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一种钨抛光液及其制备方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种用于金属钨的抛光液，其特征在于它是由磨料、氧化剂、pH值调节剂、螯合剂和去离子水混合组成，其中磨料占总重量的10%～50%，氧化剂占总重量的0.01%～6%，pH值调节剂占总重量的1%～6%，螯合剂占总重量的0.01%～1%，去离子水占总重量的37%～88.98%，抛光液pH值范围为11～12，粒径为15nm～100nm。其制备方法为取料、过滤净化、搅拌、混合均匀即可。本发明的优越性在...
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